《微机控制离子质量数监控锁定装置》

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该装置是半导体用的离子注入机上很需要的一种测试控制设备,它使离子注入机在打片过程中用微机对注入的离子质量数进行在线实时控制和锁定,确保注入元素的纯度,实现设备操作自动化。该装置的主要技术指标均已达到并超过原定合同指标,在国内处于领先地位,填补了我国离子注入工艺中的一个空白,并具有国际水平。

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