《微机控制离子质量数监控锁定装置》
点击下载 ⇩| 文件编号： | KEYAN666780108666 |
|---|---|
| 下载格式： | Word/DOC（PDF已转Word） |
| 中图分类： | TN305.3 |
| 完成/联系人 | 胡瑞雯 万洪祥 王东宇 符家平 |
| 来源省份： | 陕西 |
| 完成单位： | 西安交通大学 |
| 研究行业： | 电子器件制造 |
| 研究主题： | 监测控制锁定装置,锁定装置,监测控制,离子质量数,微型机控制, |
| 联系地址： | 西安市咸宁西路28号 |
传媒
该装置是半导体用的离子注入机上很需要的一种测试控制设备，它使离子注入机在打片过程中用微机对注入的离子质量数进行在线实时控制和锁定，确保注入元素的纯度，实现设备操作自动化。该装置的主要技术指标均已达到并超过原定合同指标，在国内处于领先地位，填补了我国离子注入工艺中的一个空白，并具有国际水平。
提示：为方便大家复制编辑，博主已将PDF文件制作为Word/Doc格式文件。