石英晶体激光频率工艺，基本原理根据不同金属对光谱的吸收率的不同分别采用1064波长红外纳秒激光器，532波长皮秒激光器，355波长紫外激光器，利用激光热能量集中，脉冲频率可调，扫描速度可调，对音叉型石英晶体晶片加重层表面快速汽化，在汽化过程中，晶体质量重心发生改变，石英晶片的频率升高，激光加工过程中频率动态监测，到设定目标值。实现石英晶体谐振器频率精确微调加工。取得创新成果如下：

1、激光石英调频工艺的研究成果，通过自主开发控制激光器软件，控制激光器功率、调Q频率、打标方式、激光线宽、标刻速度、标刻深度；根据音叉晶片测量ppm值与目标ppm值的差异量，设置激光器可控参数；上位机软件控制扫描振镜，对音叉加重层分多次扫描，使音叉晶片逐步达到目标ppm值。

2、频率多通道信号采集系统的研制，采用8通道数据采集卡，设计频率信号切换电路，频率输出控制电路，触发频率关断电路，实现频率信号扩展采集，在外控程序控制下隔行关断，避免信号干扰。最多可实现128路并列音叉晶体频率的实时监测。测试效率高，可靠性高，抗干扰性强，可以有效的配合激光加工。

3、动态测试电路的设计，不同尺寸型号的音叉晶体，对发振功率要求不同从0.1微瓦到1000毫瓦的范围变化，采用加法电路，功率选择网络，控制振荡电路反馈信号设计一款功率动态调整晶体发振电路。

4、设计出多款激光调频机，可加工3×8，2×6，1×4，3215，2012等不同尺寸的音叉晶体。自动上下料机构设计，CCD视觉定位系统，不良品自动识别，数据自动报表统计分析软件设计，可以实现全自动无人操作，且加工精度控制在±2ppm范围以内。

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