《新型硅基材料SOI产业化》

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上海微系统所拥有自主知识产权的SOI圆片制备技术,已获得5项发明专利,1项实用性专利,并申请了14项发明专利(见附件1),这些专利覆盖了SOI新技术、SOI材料制备、SOI材料改进、SOI材料应用等多方面,保证了SOI圆片的正常研发与生产。上海微系统所拥有的专利技术以及二十年SOI研究工作的积累,使该项目具有多方面的创新性,其中包括:大剂量离子注入的物理效应及计算机摸拟;SOI材料制备过程中减少杂质沾污的技术以及杂质吸收的技术;SOI材料多层结构的特殊表征技术;低剂量注入形成SOI材料的技术;以ALN等作为埋层的SOI新结构的专有技术。

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