智能型纳米级抛光机采用能够不断改善抛光盘平面度的修正环在线修整装置、专家数据库智能控制系统、多台、多工序集中控制方式、远程控制功能等先进技术，使得加工效率大大提高，并且在配套工艺条件下可获得极高的加工精度、表面质量的高度一致性，充分体现了智能化、数字化、网络化的当代先进制造模式，已在科研和生产中得到应用。特点：高平面度质量；高效率；可修整平行度；研磨盘更换方便；智能专家数据库；速度可调、速度控制模式先进；总转数精确控制；多台、多工序集中控制；应用领域：石英晶体、压电晶体、Si基片、宝石片、GaAs、光学玻璃、磁性材料、结构陶瓷材料、硬脆非金属材料试件以及金属材料的平面、镜面研磨和抛光；精密金属量具(如块规)及机械零件的平面、镜面研磨和抛光；矿物的EPMA评价、AME、物性试验、金相等分析用试料的平面、镜面研磨和抛光；复合材料界面、加工表面变质层的无损伤角度研磨；TEM用薄片的准备研磨。

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