《等离子发射技术及设备在相关气体生产行业中的研究应用》

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研究目的:该研究成果属于高端的分析设备在各种领域应用的设备开发及技术应用研究,能为各种领域提供一种可靠的,实用的,有效的分析技术和设备,改技术及设备可以很好的应用在航天航空、军工核能、半导体、天然气以及石油化工、计量和标准物质等领域。为国内的分析难点、盲点提供了有效的手段,能够大大提高生产质量监控水平、提高生产安全保障,确保生产的顺利进行。

主要创新点:

1)应用多维色谱切割技术,分析速度加快,解决了对于高度复杂混合物,物质的分离效果差的难题,在气体和高纯气体中更具有优势。更加灵活应用切割技术,解决通用色谱仪灵敏度不稳定的问题。

2)采用特定的Optical filter滤光技术。结合每种物质的特征波长,采用专有的滤光片(固定式)来实现滤出,或者结合二次切割和过滤来达到最佳的效果。在基于多维色谱切割技术的基础上,跟进一步提升杂质分离效果解决了复杂混合环境下气体分离的关键问题。

3)计独特的EFC控制系统,采用直线型的微阀对载气、样气进行控制,在外部压力或温度变化时能确保系统仍能提供一个稳定的流量。专用的O2,AR分离系统,解决了市场上大部分色谱仪分析精度低、分析效率差的问题。

4)能实现ppb级Ne、Kr,Xe等杂质的分析。解决了其他设备及技术不能很好的分析气体中的痕量Ne(100ppb以下)的问题,该系统系统,能很轻松的实现100ppb以下痕量Ne分析,为质量监控、生产以及国家计量等提供了有效的手段。

课题组的产品及技术大量的应用在广泛的领域,例如:半导体工业、核能原子能研究、航天航空、计量领域以及食品、烟草等等。从2015年能到现在,课题组为中国计量院、中国原子能科学研究院、中国工程物理研究院、中国测试技术研究院、西南化工研究院、成都天然气化工总厂、航天501所、台积电(南京)公司、空气化工产品(南京)公司等等单位提供了有效的分析设备,确保了项目、课题的有效进行。

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