《高性能离子减薄仪》

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离子减薄仪是材料研究过程中必不可少的研究仪器,它是利用高能离子束将材料样品表面抛光与减薄的专用设备。目前国内所使用的绝大多数是美国GATAN公司所生产的。

  该项目是华中理工大学在综合国外产品优缺点基础上开发的仪器,已经投放过市场,受到用户欢迎。本产品主要由三个系统组成:一是样品旋转系统,二是高压电源系统,三是高真空系统。该项目生产技术成熟,已有产品销售,生产过程已经采用计算机自动控制,关键技术已经申请专利并获批准。

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