《流体二维振动超光滑表面抛光新技术》

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项目介绍:本技术为国家自然科学基金资助项目。

本技术是针对超光滑表面的需求而提出的一种基于流体二维振动的超光滑表面加工方法。该抛光方法采用流体作为抛光工具,在水平方向和垂直方向附加二维高频振动作为抛光作用力,使流体分子或微细磨粒分子能以一定的速度不断冲击工件表面,利用抛光液与工件的物理-化学作用完成材料去除,从而获得超光滑表面。

本技术适用于零件(如半导体晶片、光学透镜、光学窗口以及其他功能材料等)的超光滑抛光。本技术的提出,有望使抛光精度稳定地达到纳米级甚至原子级。应用在工业生产中可以显著地降低成本,而且加工效率高,并且能实现绿色加工。

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