《石英晶体微天平湿度传感器》

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石英晶体微天平湿度传感器基于有序硅基介孔材料SBA-15,属湿敏材料及湿度传感器技术领域。采用比表面积大、吸附性能好、孔径均一且尺寸在纳米尺度上可调、结构高度有序的硅基介孔材料SBA-15作为石英晶体微天平(QCM)质量型传感器的湿敏材料,构建湿度传感器。该发明不仅为QCM质量型传感器找到了一种很好的湿敏材料,更为有序硅基介孔材料的应用开辟了一个新领域。[技术特点]:石英晶体微天平湿度传感器具有湿度量程大(可以在整个相对湿度范围内测量)、湿滞小、响应快、灵敏度高、重复性好、性能稳定、制作工艺简单,材料用量少、抗腐蚀、成本低、易于集成化等特点。

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