《一种通过静电驱动进行调节的太赫兹带阻滤波器》

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该实用新型为一种通过静电驱动进行调节的太赫兹带阻滤波器,硅基底的通孔上为二维阵列,上方进入的太赫兹波穿过二维阵列得到滤波,从通孔射出。阵列单元包括倒梯形环结构和一字形结构,倒梯形环长底边在上,短底边在下,中空部分也为梯形,一字形与梯形环短底边相对且平行,本例倒梯形环结构的梯形为等腰梯形,底角为37度,上方的长底边为90微米,下方的短底边为30微米,高度为40微米,倒梯形结构各边的边线宽度为5微米,长底边的线宽宽度为17微米,增加了12微米,一字形结构顶侧与倒梯形环结构短底边底侧之间的距离为二者间距,该例的初始间距为3微米。可动框架套在二维阵列外,框架左右连接静电梳齿驱动器的活动梳齿,阵列中同一行的倒梯形环结构或一字形结构连接框架内侧,框架前后侧连接梳齿驱动器的活动梳齿。静电梳齿驱动器的固定梳齿和活动梳齿交错排列,可动框架左右两侧的12个静电梳齿驱动器分为相同的上下两组,每组每侧3个,上组的各静电梳齿驱动器的移动同步,且移动方向与可动框架的左右侧平行,下组静电梳齿驱动器的移动同步且与上组静电梳齿驱动器的移动方向相反。直流电压驱动静电梳齿驱动器工作,带动可动框架移动,倒梯形环结构和一字形结构相对运动,改变间距,调节本带阻滤波器的透射功率和中心频率,显著提高了太赫兹带阻滤波器的性能,并扩展其应用范围。

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