《新型显示面板缺陷检测与修复关键技术研究与产业化应用》

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通过在新型显示面板质量检测、修复关键技术领域的自主创新和技术攻关,解决了长期困扰中国面板制造行业的缺乏自主检测及修复装备、呼唤技术升级和急需提高装备自主性的重大难点问题。新型显示面板制造工艺的变化造成缺陷特征的改变,国内缺乏技术积累、国外实施技术封锁,造成自主检测、修复装备普遍缺乏。该项目通过长期、深入的技术研究和装备自主研发,实现了相关装备从无到有的突破。国外现有的新型面板产线缺陷检测、修复装备仍处于多台设备、多个工序完成检测和修复的工序分离状态,面板在设备间反复移动、装夹引入了额外的误差和缺陷。该项目通过现有技术的创新性发展和融合,在行业内首创了检测与修复一体化技术。对面板修复效果进行质量等级判断是提高良品率的重要步骤,面板判等长期依赖经验丰富的检测人员人工进行。

该项目通过引入深度学习等数据分析技术,解决了面板自动判等的重大难题。通过该项目的研究,近五年共获批相关发明专利25项,实用新型1项,软著1项,申请PCT专利10项。该项目所研制的新型显示面板缺陷检测、修复装备填补了国内空白。国外企业的技术封锁和设备禁运,导致国内面板行业缺乏高端装备,严重制约了产能提升和质量提高。公司通过技术攻关,掌握了具有自主知识产权的新型显示面板缺陷在线检测、修复关键技术,填补了国内空白,项目研制的设备进入国家首台套目录,获得政府补贴。该项目通过装备制造和成果推广,产生了显著的经济效益,为该省经济建设做出了突出贡献。该项目所突破的关键技术和产生的知识产权成果,通过多种渠道实现了向装备的快速转化,形成了一系列精测品牌的自主面板缺陷检测、修复装备,占有率已经达到国内第一(国内市场占有率42.36%),并强势抢占国际检测装备市场(全球市场占有率34.73%)。2018年共实现项目相关收入总额127834.26万元,实现利税45252.57万元。

该项目所研究的关键技术,已经全部转化为检测装备中实际使用的核心技术或关键模块,促成了行业水平整体提升,提高了中国新型显示面板产品质量和行业国际竞争力,对行业发展有着很大作用。该项目所研制的缺陷检测装备,通过解决行业痛点,显著提高了产品缺陷检测准确率和修复成功率,从而提高了产品良率和质量;同时该项目所突破的关键技术实现了对新缺陷特征的快速适应、准确检测,极大加快了面板制造企业工艺迭代、质量稳定的速度,显著降低了显示面板价格,提升了产品国际竞争力。

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