《表3 AlN应力-弹性常数二次多项式表达式》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《薄膜体声波谐振器应力负载效应摄动分析》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

GPa

然后利用AlN的二阶弹性常数，计算得到弹性顺度常数s ABLM。当加速度沿z轴方向作用于微加速度计时，FBAR产生的偏置应力主要是沿x轴方向的拉应力，因此平均偏置应力为沿x轴方向的拉应力T 11。利用表3中AlN单轴应力P/与弹性常数c33的关系[22]，得到。将上述计算结果代入式（8）中，得到FBAR在纵波模式下受沿x轴方向的平均偏置应力T 11时，材料辅因子k331=-5.87。