《表1 硅原料的杂质含量(10-6,质量分数)》

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《SiO_2-CaO-MnO熔渣氧化精炼除硼提纯多晶硅的研究》


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本实验使用来自于某硅厂的硅料,其纯度为99.99%,主要杂质含量如表1所示。精炼使用的熔渣分别使用分析纯SiO2、CaO、MnO试剂。