《表1 SiC反射镜材料属性》

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《温度梯度对大口径反射镜热稳定性公差的影响》

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分析前验证有限元模型网格收敛性以确定单元尺寸，当模型单元尺寸由40 mm减小到20 mm时，仿真得到的镜面矢高、镜面曲率半径变化以及面形RMS值的最大相对误差小于5‰，因此确定模型单元尺寸为20 mm。反射镜有限元模型如图1所示，单元数为4.43万，节点数为3.99万。模型的材料属性如表1所示。