《表4 形核表面成分分析》

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《微细硬质合金刀具沉积金刚石薄膜的形核研究》

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对各组试验进行了能谱分析，研究各个参数对形核阶段沉积覆盖率的影响，结果如表4所列。可以看出，基体表面C的含量基本保持在80%以上，其中第7、8组接近100%，其次是W，含量在10%以下，Co的含量接近0，说明采取的预处理工艺基本可以除掉基体表面的Co，沉积过程中内部的Co不会扩散到表层影响金刚石的生成。同样，还分析比较了各个参数对覆盖率的影响，如图5所示。