《表3 前六阶仿真与实验频率对比分析》

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《超高加速度宏微运动平台的多工况动力学特性研究》

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超高加速度宏微运动平台进行往复快速定位过程中，各个工况均在高加速度工况下进行的，相对应的变形和应力在高速过程中不易测出，通过大型仿真软件ANSYS能够有效处理各种不易通过实验进行验证的受力模型，并计算出可靠的结果[12]。通过3.1节的仿真计算，可近似得到各工况变形和应力的大小及分布，因此不做实验验证分析。本文只针对平台的模态特性进行实验分析和验证。搭建振动测试平台如图9所示，通过锤击法测振技术开展平台固有频率测试。采用多点激励-单点输出的激励方法，利用力锤对平台进行激励，各个测点的响应由设置在参考点的加速度计进行测量和获取，将力锤激励信号和平台输出信号放大和采集，通过CRAS V7.2软件对振动信号处理和分析，获得平台前六阶固有频率，仿真和实验得出的平台前六阶的固有频率对比如图10所示。将平台通过实验和仿真得出的前六阶固有频率进行对比分析，如表3所示。从表3可知平台实验得出的第一阶固有频率为1 201 Hz，与有限元仿真频率1 163 Hz相比误差约为3.3%，各阶实验频率与仿真频率对比最大误差为3.9%，表3表明实验结果与仿真结果具有很好的一致性。