《表1 设定温度为(23±0.2)℃时曝光机基台和周围空气温度》
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《高分辨率平板电脑产品中彩膜曝光基台色斑不良的改善》
曝光工艺对温度要求较高,通常曝光基台温度控制在(23±0.2)℃,而空气温度受机构摩擦以及马达散热影响相对不受控。测量曝光基台的4个角和中心点共5个点温度和对应位置的空气温度,结果如表1所示。空气中的温度较基台温度高约0.5~0.6℃,推测该温度差异是造成不良的原因之一。
图表编号 | XD0080526900 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.06.01 |
作者 | 蒋迁、塔拉、薛凤明、章旭、孟令剑、王昆、周鹏、王旭 |
绘制单位 | 北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司 |
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