《表2 正交试验因素水平》

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《蓝宝石基片的单面研磨工艺研究》

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为获得最优工艺参数，选取研磨盘转速、研磨压力及磨料质量分数为因子，在磨料为W14金刚石、研磨时间为15 min、研磨液流量为20 m L/min条件下进行正交试验，考虑各因子之间的交互作用，选用L9（34）正交试验表，各因子水平根据单因素试验结果选取，正交试验因素水平如表2所示。