《表1∑Δ-ADC性能总结表》

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《用于微机械加速度计的亚微米工艺ADC设计》

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其中，P为功耗，RSNR为信噪比，WBW为带宽。文献[20]采用了较先进的工艺，且ADC的工作电压较低，获得了极低的功耗，因此FOM值更优。但由于电源电压较低，动态范围小，不符合高精度惯性传感器应用领域。综合来看，文中实现的∑Δ-ADC综合性能（XFOM值）较优，符合预期的设计目标。