《表1 预喷涂的SiC相关参数》
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《β-Si_3N_4涂层辅助定向生长高效多晶硅的研究》
两种主导相的Si3N4分别标记为1号和2号,相组成和颗粒粒径见表1。两种Si3N4的杂质元素含量基本一致。
图表编号 | XD0077562500 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.08.20 |
作者 | 糜长成、蔡延焕、周兵、董慧、戚凤鸣、黄新明 |
绘制单位 | 东海晶澳太阳能科技有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |