《表1 实验数据:包覆层厚度测量的悬臂梁挠度校正方法》

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《包覆层厚度测量的悬臂梁挠度校正方法》


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由表1数据可以看出,测得的光斑中心偏移的实际距离和点激光器的实际位移误差最大不超过0.03mm,而包覆层厚度的测量精度为0.05 mm,由此可以得出,该校正方法满足检测要求。