《表1 4种TCO材料的光学性能参数》

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《基于高迁移率透明导电氧化物的高速、低插入损耗硅基光波导移相器研究》

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首先通过Drude模型计算了4种TCO (ITO、ZnO、SnO和CdO）材料的介电常数随载流子浓度的变化关系。这4种TCO材料的基本光学性能参数，如带隙、有效质量、迁移率、高频介电常数和相对静态介电常数等见表1[22-28]，其中me为电子质量。值得注意的是，这些参数值因工艺条件不同而异，例如，可以通过热处理和沉积技术有效提高TCO的迁移率，同时可以保证其具有较高的导电性和透明性[29-30]，但这并不影响本文模型的普适性。这4种TCO材料中，CdO的迁移率明显高于其他3种，掺杂浓度约为1020cm-3时，CdO的迁移率通常高于200cm2·V-1·s-1[31]；掺杂少量Sn[31]后，当电子浓度为4.7×1020 cm-3时，其迁移率可达609cm2·V-1·s-1[22]。