《表5 补偿后的制造公差范围》

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《高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计》

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在像方全视场范围内选择9个视场点对投影物镜进行公差分析。首先，通过像差灵敏度分析，确定了元件3、元件5作为轴向补偿元件，补偿半径、间隔误差引起的球差；根据元件径向移动引起的Zernike像差变化，确定了元件6、元件5等作为径向补偿元件、补偿倾斜和偏心误差。面形误差可以通过离子束面形精修技术部分补偿[21]。其次，将距离光轴较远、使像差敏感的M4镜作为装调基准。由Marechal判据，RMS波像差小于λ/14时可认为系统成完善像，调制传递函数接近衍射极限。对于该自由曲面EUVL投影物镜，以波像差RMS值小于1 nm为标准进行公差分析。结合择选的补偿元件，进行公差分析，获得该投影物镜加工公差和装调公差，如表5所示。表5中DLT代表元件间隔公差，DLX、DLY分别代表元件在X方向、Y方向偏心公差，DLA、DLB分别代表元件绕x轴、y轴倾斜公差。