《表2 AFM表面粗糙度和XRD晶面摇摆曲线半高宽数据》

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《成核层生长工艺对紫外LED外延片性能的影响》

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X射线衍射仪（XRD）用来测试三组样品结晶质量，如图2所示，其中（002）面晶面摇摆曲线半高宽可反映螺位错，而（102）面则反映边缘位错[3]。样品A（002）面何（102）面指数分别为220和230，样品B和样品C则均达到了200以下，详细数据见表2。