《表2 MoS2涂层表面粗糙度》

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《脉冲磁控溅射MoS_2涂层的组织结构及摩擦学性能》

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图3是采用原位纳米力学测试系统得到的MoS2涂层表面形貌。表2为测试中得到的涂层的表面粗糙度，其中Rq为均方根粗糙度，Ra为算术平均粗糙度，测试范围为900μm2，从结果可以看出，偏压为800 V制备的涂层致密度和平整度都优于100、300和600 V，结果与XRD和SEM测试结果一致。