《表1 201710001的均匀性测量结果》
实验数据如表1所示。根据式(1)对表1中的数据进行计算可得:201710001样片的均匀性为1.9 nm,结果表明,该样片均匀性良好,满足了作为校准SEM类测量仪器图像放大倍率和图形畸变的标准物质的第3个基本条件,考核区域A、B、C、D和O的测距测量结果Pk分别为1.004 2、1.000 2、1.002 5、1.005 1和1.002 0μm,5个区域线距测量结果平均值珚P为1.002 8μm。
图表编号 | XD0051426500 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.09.15 |
作者 | 许晓青、李锁印、赵琳、梁法国、孙虎 |
绘制单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |