《表3 Ⅰ型喷嘴复合微粒分散范围》
图6为Ⅰ型喷嘴在距离为10、6和2mm下的试验结果,内圈表示复合微粒集中区,外圈表示复合微粒溅射区。表3为对应图6的具体数据,由图6和表3可知,当喷射距离减小时,复合微粒的溅射区域面积减小,且溅射系数也由4.07减小为0.65。当喷射距离为2mm时,复合微粒溅射区面积最小,分散效果最佳,且此时微粒集中区面积与喷嘴出口面积相当。这是由于一些粒子在旋流作用下复合微粒与复合微粒之间产生撞击导致分散角较大,喷射距离越大,复合微粒偏离集中区域越远,因此溅射越严重。而当距离为2mm时,一些复合微粒分散角虽然大,但由于距离短,复合微粒很快被喷射到基板表面,没有产生溅射,因此分散效果较佳。并且在试验中发现,当喷嘴距离继续降低时,复合分散范围几乎保持不变,为了方便,在2mm的喷射距离下进行后续试验。
图表编号 | XD0043123000 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.01.20 |
作者 | 吴海华、王曹文、钟纪红、彭建辉、邢垒、范雪婷 |
绘制单位 | 三峡大学机械与动力学院 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |