《表3 DOE1与DOE2 IOX1、IM、IOX2 K+扩散速率 (迁移速率) D (K+) 对比》

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《化学强化过程中的离子迁移现象与规律研究》

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对DOE1和DOE2的K+浓度沿扩散深度x曲线进行Bolzmann拟合如图5、图6所示，将图5和图6的IOX1、IM、IOX2工艺的K+沿深度x的Bolzmann拟合数据带入式（1）分别计算出DOE1和DOE2的IOX1、IM、IOX2工艺过程K+扩散系数D（K+）即离子迁移速率如表3所示。