《表2 主全息和辅助全息元件参数》

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《基于计算全息元件的大口径非球面透镜透射波前检测方法》

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针对高功率激光驱动装置的大口径非球面透镜检测，设计并制作了CGH。非球面透镜的参数如表1所示。为了对CGH的姿态进行定位，制作了专门的辅助全息。辅助全息的衍射级次被设计为正3级，被刻蚀在与主全息同一端面的玻璃基板上，并在其表面镀铝以增加反射率。辅助全息在功能上相当于凹面反射镜。设计制作的CGH参数如表2所示。对主全息波前误差影响最大的是基底误差与刻蚀畸变误差，基底误差引入的波面误差约20nm，刻蚀畸变误差引入的波面误差约8.9nm，二者综合引入的透射波前误差约21.9nm。辅助全息的波面误差主要由刻蚀畸变误差决定，其引入的波面误差约136.8nm。由于辅助全息只是起到CGH姿态定位的作用，故其对透镜透射波前测量的影响不大。