《表1 各熔石英样品的粗糙度》

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《荧光成像技术探测熔石英元件亚表面缺陷》

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熔石英光学元件加工的具体流程为采购材料、磨砂、抛光、修粗糙度。磨砂时，选用不同砂号的砂，从粗到细，每种砂所磨的尺寸和时间均有不同要求；再进行抛光，选用不同颗粒度的氧化铈抛光粉和不同的抛光盘，从粗到细抛光；最后修粗糙度。表1为不同工艺下制备的熔石英光学元件所对应的规格尺寸以及表面粗糙度，表面粗糙度是由FPM-1000轮廓仪通过干涉相位法测量获得[13-15]。