《表1 目标厚度为12μm薄膜样品外延实验条件及实际厚度》
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《过冷度对液相外延HgCdTe薄膜厚度均匀性的影响》
确定了目标厚度,可以直接得出应该采用的过冷度及所需要的外延时间.以目标厚度12μm为例,不同过冷度需要的外延时间如表1所示.表1给出了对应条件下外延的HgCdTe薄膜实际厚度(实验值).图3给出了目标厚度分别是8μm、10μm和12μm时,外延生长后薄膜平均厚度及其分布范围,相对目标值偏离都在0.9μm范围内.
图表编号 | XD0034302500 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.04.01 |
作者 | 陆骏、李东升、吴军、万志远、宋林伟、李沛、张阳、孔金丞 |
绘制单位 | 昆明物理研究所、昆明物理研究所、昆明物理研究所、昆明物理研究所、昆明物理研究所、昆明物理研究所、昆明物理研究所、昆明物理研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |