《表5 各机构在InGaAs/InP SPAD阵列领域研究进展对比》

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《InP基近红外单光子雪崩光电探测器阵列》

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表5为对InGaAs/InP SPAD阵列主要研究机构的研究进展进行对比，可以看出，平面型SAGCM因其较高的稳定性成为各机构采用的主要结构。PLI在提高阵列大小，实现商用价值方面具有绝对优势，2015年该公司报道的GM激光雷达传感器是第一个商用机载激光雷达系统，128×32的SPAD阵列是该系统的主要组成部分[45]，2018年被ARGO收购之后更注重雷达在自动驾驶方面的应用；意大利在降低暗计数、提高PDE、改进测试方法等方面作出贡献；我国已有相关产品，阵列器件的研制水平在阵列大小、DCR和PDE等方面，还有待提升。