《表4 大惯量专用转台旋转角度及误差》

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《大惯量专用转台高精度控制研究》

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笔者依托科研项目的支持，搭建了相应的实验平台，如图12所示。通过上位机控制转台旋转相应的角度，利用FaroArm关节臂式三坐标测量仪对转台上的一个绕旋转中心旋转的平面进行测量，可以得到转台的实际旋转角度，三坐标测量仪的位置测量精度可达±3.5μm，相应的角度精度为0.01°。表4为大惯量专用转台旋转角度给定值、实测值以及定位误差，由表4可知专用转台的实际定位精度在[-0.2°，0.2°]范围内。