《表4 油腔的前五阶模态频率》
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《针对MEMS水声传感器封装的声振耦合仿真技术研究》
针对传感器封装内的油腔进行声模态分析,可以得到封装内部的声场特征频率。声学有限元可以计算声腔振动的模态,得到封装内油腔的自然频率以及共振时的声压分布,通过分析介质的声模态,可以得到腔内油介质的自然频率和共振时的声压分布,通过仿真得到油腔的前五阶模态频率如表4所示。油腔的边界条件是底部固定约束,周围其他边界为封装的硬声场壁边界。
图表编号 | XD0030656900 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.02.20 |
作者 | 石晶晶、黄晓东、朱明、刘文 |
绘制单位 | 东南大学MEMS教育部重点实验室、东南大学MEMS教育部重点实验室、西门子工业软件有限公司、西门子工业软件有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |