《表1 基于重试搬运策略的AMHS与传统AMHS的比较》

《表1 基于重试搬运策略的AMHS与传统AMHS的比较》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《基于捷径重试规则晶圆带式搬运系统性能优化》


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表1中将基于重试策略的AMHS与传统AM-HS,即启用所有的捷径的AMHS进行比较,此处基于重试策略AMHS系统在得到的优化后的可行解中选择了在制品数量最小的解与之相比,发现在少量增加在制品的情况下,能够大幅节省捷径使用的成本.这是由于在intrabay间运输流量以及系统布局的影响下,导致整个捷径系统出现使用不均衡的现象,有些捷径上的流量较小.所以新系统通过关闭这些流量小的捷径,以少量增加在制品数量为代价大大地降低了捷径使用成本.