《表1 多参量微纳集成传感器结构参数》
传感器的灵敏度和固有频率是其重要的性能指标。在仿真时用最大应力表示传感器的灵敏度,传感器结构参数对其性能的影响如图2所示。增加梁的长度、减小梁的宽度和厚度能够增加传感器的灵敏度,但是不利于减小传感器的体积与提高固有频率。梁长度的改变对灵敏度的影响较小而对固有频率的影响较大,在一定条件下可以通过增加梁的长度来提高固有频率,且对灵敏度的影响很小。增加梁的宽度可以提高固有频率和抗横向耦合性,但会导致灵敏度下降。梁的厚度对传感器的灵敏度和固有频率的影响最大,是传感器设计的关键参数。综合考虑各个因素,最终确定传感器的几何尺寸如表1所示。
图表编号 | XD0028231100 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.02.15 |
作者 | 宋金龙、何常德、王任鑫、薛晨阳、张文栋 |
绘制单位 | 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 |
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