《表8 南理工相移干涉绝对检验结果》

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《等倾与相移两种干涉仪的平面度绝对测量比对》

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μm

在确认了等倾干涉仪和相移干涉仪各自绝对检验精度之后，就可对英特飞的两块平晶（1#，5#）的两次检测结果进行比对，其平面度结果最大的差异为0.005μm（如表8，表9所示）。按测量不确定度0.01μm计算，两种干涉仪测试结果的归一化偏差[7]En值为0.5，说明结果一致性极好。