《表1 NPN晶体管发射极尺寸》
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《发射极尺寸对双多晶自对准双极晶体管剂量率效应的影响》
实验样品为模拟集成电路国家重点实验室提供的DPSA工艺制备的NPN双极性结型晶体管(Bipolar Junction Transistor,BJT),器件示意图以及器件发射极尺寸分别如图1和表1所示,两种发射极尺寸的NPN晶体管分别用T1和T2表示。
图表编号 | XD0025403100 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.11.10 |
作者 | 刘默寒、陆妩、贾金成、施炜雷、王信、李小龙、孙静、郭旗、吴雪、张培健 |
绘制单位 | 中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室新疆电子信息材料与器件重点实验室中国科学院新疆理化技术研究所、中国科学院大学、中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室新疆电子信息材料与器件重点实验室中国科学院新疆理化技术研究所、中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室新疆电子信息材料与器件重点实验室中国科学院新疆理化技术研究所、中国科学院大学、中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室新疆电子信息材料与器件重点实验室中国科学院新疆理化技术研究所、中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室新疆电子信息材料与器 |
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