《表3 辉光放电和弧光放电放电特性对比表》

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由表3可以了解到弧光放电的放电电流密度比辉光放电高得多,使金属膜层原子电离成为更多离子,又被工件所加的负偏压吸引加速到达工件,成为高能的膜层粒子。