《表1 有腔小孔节流器结构方案》

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《气浮轴承均压腔内圆角位置对气膜流动特性的影响》

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有腔小孔节流型气浮轴承结构如图2所示，其相关尺寸如表1所示。高压空气经进气道进入节流孔小孔节流后进入均压腔环面，二次节流后进入轴承底部与支承平台形成的微小间隙（即气膜间隙）向周边扩散，最后经过轴承边缘排出大气。整个过程中压力在逐步下降，由于气模间隙十分微小，气模内的压力始终大于大气压力，所以气膜具有一定承载力。