《表1 TiAlSiN/TiAlAgN/Ti(Mo)N-MoS2多层涂层经不同温度摩擦磨损试验后的表面EDS能谱分析结果（原子分数）》

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《TiAlSiN/TiAlAgN/Ti(Mo)N-MoS_2多层涂层的微观结构及摩擦学性能》

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图4为TiAlSiN/TiAlAgN/Ti（Mo）N-MoS2多层涂层经不同温度摩擦磨损试验后的表面形貌。图5中未出现Mo元素，这可能是因为Mo含量过少导致图谱无法显示[19]。结合图4和表1可见：室温条件下，经过摩擦磨损试验后，涂层中O的原子分数由磨损前的4.94%增至58.41%，这说明涂层发生了氧化；此外磨痕中有一块一块的小凹槽，这说明存在黏着磨损[20]。当试验温度上升至200℃，涂层磨痕区域出现小白斑点，这说明此时氧化磨损为主要的磨损形式。升温至400℃，磨损前后涂层中氧的原子分数分别为5.74%和17.78%，说明涂层发生了氧化且氧化程度较低，另外磨痕区域呈典型的鱼鳞状，磨痕中间区域在摩擦副交变应力的作用下，出现了疲劳裂纹，涂层发生了疲劳磨损和黏着磨损。升温至600℃，涂层中的Mo含量很低（约为0.1at%），这验证上述由于Mo含量极低，能谱图无法显示的观点。600℃时，Ag由涂层内部向外扩散非常迅速，所以随着磨损的进行，涂层可能被磨穿；此外Fe的原子分数也由磨损前的0.68%增至22.53%，这说明涂层已接近磨穿；且磨损前后涂层中的氧发生明显增长，表面涂层发生了氧化；磨痕区域有细小的犁沟，说明涂层还发生了磨粒磨损[21]。