《表2 MFEDI产水后续精处理水质》

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《18MΩ超纯水工艺方案的技术比选研究》

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超纯水中杂质含量非常低，很容易受外界环境的影响而电导率升高，因此一般超纯水处理工艺在深度除盐后会配备进一步精处理装置。本研究工艺流程中脱气膜是为了消除二氧化碳等气体对超纯水电导率的影响，紫外线用于杀菌，抛光混床是进一步除去极少量残留或管网中溶解在超纯水中的盐分，微膜过滤器则是超纯水处理工艺的最终保障。因此本方案设计的MFEDI产水后续流程：脱气膜（MDG）→纯水箱→TOC→UV→抛光混床→精密过滤器0.1μm可以保证产水电导率的稳定性，为用户提供高质量的超纯水。对方案中MFEDI产水后续精处理设备的运行情况进行了分析，具体见表2。