《表3 不同预张力下电容薄膜真空规的线性度及灵敏度》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《感压膜片预张力对电容薄膜真空规输出特性的影响》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

真空规的性能评价指标主要有灵敏度、线性度、分辨率、迟滞差、重复性及稳定性等，预张力主要影响其线性度及灵敏度。真空规灵敏度的定义为，稳态工作下，输出变化量与输入变化量之比，用S表示。理想情况下，真空规的输出特性曲线为一条直线，灵敏度是一个常数，但在实际过程中，输出特性曲线并非直线，每点的灵敏度均不同。因此，在实际计算中，灵敏度可以用近似直线的斜率来表示，即S=ΔC/Δp，ΔC为量程内输出电容的变化量，Δp为待测压力的变化量。采用最小二乘法分别对各预张力下的电容-压力特性曲线进行拟合，拟合后得到的拟合直线与原特性曲线的电容最大偏差与满量程输出电容的百分比，即为真空规的线性度。不同预张力下真空规的灵敏度与线性度如表3所列。