《表2 N2部分电离反应方程式》

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《微型溅射离子泵放电模拟与抽气特性研究》


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考虑5种反应过程:激发、退激发、电离、复合以及弹性碰撞。N2放电反应过程方程式如表2所列。由于产生N+的阈值能量较高,不考虑其在反应中的作用。