《表1 利用PEALD技术制备的过渡金属》

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《等离子体增强原子层沉积技术制备过渡金属薄膜的研究进展》

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已报道的利用PEALD技术制备的过渡金属在元素周期表中的分布如图1所示，所使用的前驱体、基底材料、反应物、沉积温度、生长速率如表1所列。下面将依照原子序数对PEALD沉积各种过渡金属元素进行详细的介绍。