《表5 不同Cu与BCB厚度差下的接触电阻测试结果Tab.5 Test results of contact resistance for different thickness difference

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《圆片级BCB键合的Cu-Cu互连技术研究》


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玻璃片划片后，使用万用表测量测试结构的阻值，一组5个，并通过测试参考结构计算出接触电阻阻值。测试结果如表5所示。

图表编号XD0021735500    严禁用于非法目的
绘制时间2018.04.25
作者丁蕾、陈靖、杜国平、刘米丰、王立春
绘制单位上海航天电子技术研究所、上海航天电子技术研究所、中国电子科技集团公司第五十五研究所、上海航天电子技术研究所、上海航天电子技术研究所
更多格式高清、无水印（增值服务）

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