《表3 加速度计性能指标比较》

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《用于运动姿势捕捉的可穿戴MEMS微型化加速度计研制》

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目前，MEMS压阻式加速度传感器的研究十分广泛，国内外众多科研机构都开展了相关研究工作，相继出现了多种加速度传感器样机。结合目前国内外的研究成果和部分成熟产品，与本文研制的加速度计的综合性能进行了比较。如表3所示，本文研制的加速度计在综合性能上具有明显优势，既具有较高的灵敏度又具有足够高的固有频率。