《表1 试样的弹性模量和硬度(质量分数，%)》

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《占空比对Ti-Cu合金的微弧氧化膜层组织及其力学性能的影响》

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薄膜材料的力学性能是评价薄膜质量的重要指标和设计计算时的主要依据，直接关系到薄膜的使用寿命。本节用纳米压痕仪对不同占空比下所制备氧化膜层的力学性能进行测试，选用Berkovich形压头。试验参数：固定加载应变率为0.05s-1，泊松比为0.25，热漂移为0.05 nm/s，加载方式设置为位移控制加载；由于所测膜层厚度在6～10μm，为避免边界对测试的影响，设置最大压深为1000nm。为减小尺寸效应对试验结果的影响，取550 nm×950 nm的平均硬度为参考数值，从而得出表1所示的结果。