《表1 各种结合键的性质（M-金属键，C-共价键，I-离子键）》

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《物理气相沉积多元、多层金属陶瓷涂层的研究现状》

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多层膜理论是由Koehler等人提出，后被Lehoczy等人通过Al/Ag、Al/Cu等金属多层涂层验证。金属陶瓷涂层与工模具基体的物性差异大，涂层生长容易产生较大的应力集中而导致膜/基结合性能差，涂层易脱落失效。与具有本征高硬度的超硬涂层相比，纳米多层涂层可将不同性质的材料组合在一起形成一种具有全新性能的新涂层。根据结合键类型分类的各种硬质材料的性质见表1，反应趋势是指与其他材料复合沉积多层膜时发生化学反应的趋势，多层膜的适配性是指沉积多层膜时不同材料结构、性能等匹配程度。金属键硬质材料因与金属基体材料具有良好的结合性能而常被用作底层膜，离子键硬质材料脆性和热膨胀系数最高，且其高的热稳定性和与其他物质发生化学反应的趋势较低，常被用作表层膜。