《表1 柔性双层金属光栅偏振器的参数》
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最后，利用真空度为7×10-6 Mbar的磁控溅射在光栅结构上表面溅射一层厚度为70 nm的Al，加工参数如表1所示。
| 图表编号 | XD00199648400 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2021.01.20 |
| 作者 | 杨江涛、王健安、王银、胡啸 |
| 绘制单位 | 太原科技大学电子信息工程学院、太原科技大学电子信息工程学院、太原科技大学电子信息工程学院、太原科技大学电子信息工程学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
![表1 Mo/Ag双层金属在不同温度下合金化相同时间后的VEPAS测试S参数峰值和峰值相应深度[101]](http://bookimg.mtoou.info/tubiao/gif/JSXB202006001_06800.gif)
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