《表1 三种Bimorph变形镜参数》
Bimorph变形镜将两片压电材料薄片按相反的极化方向粘接而成作为驱动层,将其上粘贴的薄镜面精密抛光后镀膜作为反射面,驱动层划分为分立的电极驱动反射面,产生可控变形。图2为三种工艺成熟的Bimorph变形镜电极排布示意图,所有Bimorph变形镜的有效通光口径均为20 mm,驱动电极均采用扇形排布方式,电极数目依次为9、20以及35,三种Bimorph变形镜的具体参数如表1。Bimorph-9与Bimorph-35变形镜的双压电层均由分立电极驱动,而Bimorph-20变形镜第一层分布着1~19号分立电极,第二层是一整块离焦20电极,可以提供较大的离焦变形。
图表编号 | XD0019596700 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.12.01 |
作者 | 王媛媛、何益、魏凌、李凌霄、杨金生、李喜琪、周虹、张雨东 |
绘制单位 | 中国科学院自适应光学重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院大学、温州医科大学附属眼视光医院、温州医科大学、中国科学院自适应光学重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院自适应光学重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院自适应光学重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院大学、中国科学院自适应光学重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院自适应光学重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院自适应光学重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院自适应光学重点实验室 |
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